Модель поверхневого перерозподілу домішки впровадження під дією імпульсного лазеру

Автор(и)

  • І.М. Тітов UAD-Systems, м. Запоріжжя, Україна
  • А.В. Недоля Запорізький національний університет, м. Запоріжжя, Україна

DOI:

https://doi.org/10.15588/1607-6885-2021-2-15

Ключові слова:

Модель поверхневого перерозподілу домішки впровадження під дією імпульсного лазеру

Анотація

Модель поверхневого перерозподілу домішки впровадження під дією імпульсного лазеру

##submission.downloads##

Опубліковано

2021-09-14

Номер

Розділ

Науково-технічна інформація